Für Oberflächenvermessungen im Submillimeter- bzw. Submikrometerbereich für komplexe Formprüfungsaufgaben in der Industrie und der Medizin verwirklichte Demcon focal verschiedene Interferometrie-Layouts wie Michelson, Mach-Zehnder und Linnik. Diese Technologie kann für das Höhenprofil von MEMS-Chip-Strukturen, die Qualitätskontrolle von Faserfacetten und Vollfeld-OCT-Messungen verwendet werden.