Auf dem Halbleitermarkt nimmt der Einsatz von laserbasierten Materialbearbeitungsverfahren rasch zu. Das elementare Modul für die Lasermaterialbearbeitung ist ein Laserstrahlführungssystem, das den Laserstrahl entsprechend der Prozessanforderungen konditioniert. Hierbei werden häufig F-Theta-Linsen eingesetzt. Demcon focal entwickelte eine F-Theta-Linse, welche in das System eines Kunden integriert wurde.
Unser beitrag:
● Entwicklung einer individuell gestalteten F-Theta-Linse mit großem Arbeitsabstand
● Reduzierung von Winkelabweichungsfehlern infolge von Fertigungstoleranzen
● Gestaltung und Entwicklung von Werkzeugen für die optische Ausrichtung und Qualifizierung
