F-Theta-Linsenkonzept.
Auf dem Halbleitermarkt nimmt der Einsatz von laserbasierten Materialbearbeitungsverfahren rasch zu. Das elementare Modul für die Lasermaterialbearbeitung ist ein Laserstrahlführungssystem, das den Laserstrahl entsprechend der Prozessanforderungen konditioniert. Hierbei werden häufig F-Theta-Linsen eingesetzt. Demcon focal entwickelte eine F-Theta-Linse, welche in das System eines Kunden integriert wurde.
Unser beitrag:
● Entwicklung einer individuell gestalteten F-Theta-Linse mit großem Arbeitsabstand
● Reduzierung von Winkelabweichungsfehlern infolge von Fertigungstoleranzen
● Gestaltung und Entwicklung von Werkzeugen für die optische Ausrichtung und Qualifizierung
projektdaten
- Brennweite 280 mm
- Scanrange von 7 mm bei Eingangsstrahlen mit ±4°
- 500-W-Laser mit einer Wellenlänge von 532 nm
- Abbildungstiefe ca. 1 μm
- Verzeichnung <100 nm
- Vergrößerung muss mit Hilfe des Arbeitsabstands einstellbar sein – Größenordnung 10 ppm
- Minimierung von Vergrößerungs- und Fokusfehlern aufgrund kurzzeitiger Temperaturschwankungen innerhalb von +/- 0,1°C
- Luftdruckabhänge Abbildungsfehler werden durch eine einstellbare Brennweite und einen einstellbaren Arbeitsabstand kompensiert