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Genaue Ausrichtung.

In der Halbleiterfertigung hat eine genaue Ausrichtung einzelner Komponenten oder ganzer Bauteilgruppen entscheidenden Einfluss auf den Erfolg. Wir bei Demcon focal wissen, wovon wir reden, wenn es um eine Genauigkeit bis auf Nanometer geht. Durch eine Kombination unseres Wissens und unserer Erfahrung in den Bereichen Optik, Bild- und Datenverarbeitung können wir Messsysteme bauen, die für die Kundenanwendung maßgeschneidert sind.

Nachfolgend stellen wir einige Projekte vor.

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Messungen von hoher Präzision (Sub-μm-Genauigkeit).

Eine genaue Vorausrichtung der Wafer ist der SchlĂĽssel fĂĽr jeden einzelnen Prozessschritt. Die berĂĽhrungslose Messung der Waferkante erfordert ein spezielles Bildverarbeitungssystem.

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