NMF-Plattform – Vermessungen von Freiformoptiken.
Freiformlinsen und -spiegel können nicht ohne ein geeignetes Messsystem hergestellt werden. Das Nanomefos-Konzept bietet dank einer findigen mechatronischen Gestaltung eine hochmoderne Lösung für die Vermessung von Freiformoptiken. Hierbei handelt es sich um ein kontaktloses Hochgeschwindigkeitsmesssystem mit der Genauigkeit eines Interferometers und der Vielseitigkeit einer Koordinatenmessmaschine. Nanomefos wurde von Demcon als Spezialist in allen relevanten Fachbereichen wie Messtechnik, Optik, Mechatronik und Datenanalyse modernisiert und großmaßstäblich umgesetzt: Daraus entstand NMF600 S. In relativ kurzer Zeit wurde eine Überarbeitung des TNO-Prototyps einschließlich Software abgeschlossen. Im Mittelpunkt standen hierbei die Herstellungskosten, die Zuverlässigkeit, der fertigungsgerechte Entwurf im Sinne von Design-for-Manufacturing und die Benutzerfreundlichkeit.
highlights
- Messgenauigkeit besser als 15 nm
- Maximale Größe des Prüflings Ø 600 mm x 125 mm
- Flach bis Freiform
- Konvex bis konkav
- Messsonde mit 5 mm Reichweite (Nachführung über gesamten Hub von 125 mm)
- Öffnungswinkel von 7 Grad
"wir messen jeden Mikrometer und sogar jeden Nanometer."
Wir kombinieren unsere Expertise im Bereich der genauen Bewegung und Positionierung mit eingehenden optischen Kenntnissen. Auf diese Weise erreichen wir eine auf Mikrometer und sogar Nanometer genaue Präzision. Wir machen dies im Labor ebenso wie in der industriellen Praxis, z. B. zur Vermessung von Freiformoptik-Oberflächen oder komplexen Halbleiterkomponenten.